重慶原子力顯微鏡一種可用來研究包括絕緣體在內(nèi)的固體材料表面結(jié)構(gòu)的分析儀器。它通過檢測(cè)待測(cè)樣品表面和一個(gè)微型力敏感元件之間的極微弱的原子間相互作用力來研究物質(zhì)的表面結(jié)構(gòu)及性質(zhì)。
重慶原子力顯微鏡的特點(diǎn):
1.高分辨力能力遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過掃描電子顯微鏡(SEM),以及光學(xué)粗糙度儀。樣品表面的三維數(shù)據(jù)滿足了研究、生產(chǎn)、質(zhì)量檢驗(yàn)越來越微觀化的要求。
2.非破壞性,探針與樣品表面相互作用力為10-8N以下,遠(yuǎn)比以往觸針式粗糙度儀壓力小,因此不會(huì)損傷樣品,也不存在掃描電子顯微鏡的電子束損傷問題。另外掃描電子顯微鏡要求對(duì)不導(dǎo)電的樣品進(jìn)行鍍膜處理,而原子力顯微鏡則不需要。
3.應(yīng)用范圍廣,可用于表面觀察、尺寸測(cè)定、表面粗糙測(cè)定、顆粒度解析、突起與凹坑的統(tǒng)計(jì)處理、成膜條件評(píng)價(jià)、保護(hù)層的尺寸臺(tái)階測(cè)定、層間絕緣膜的平整度評(píng)價(jià)、VCD涂層評(píng)價(jià)、定向薄膜的摩擦處理過程的評(píng)價(jià)、缺陷分析等。
4.軟件處理功能強(qiáng),其三維圖象顯示其大小、視角、顯示色、光澤可以自由設(shè)定。并可選用網(wǎng)絡(luò)、等高線、線條顯示。圖象處理的宏管理,斷面的形狀與粗糙度解析,形貌解析等多種功能。
與常規(guī)顯微鏡比較,重慶原子力顯微鏡的優(yōu)點(diǎn)是在大氣條件下,以高倍率觀察樣品表面,可用于幾乎所有樣品(對(duì)表面光潔度有一定要求),而不需要進(jìn)行其他制樣處理,就可以得到樣品表面的三維形貌圖象。并可對(duì)掃描所得的三維形貌圖象進(jìn)行粗糙度計(jì)算、厚度、步寬、方框圖或顆粒度分析。